高純電子級hbr主要用于8寸及12寸芯片制造工藝中的多晶硅刻蝕，是芯片先進(jìn)制程的核心氣體之一。此外，溴化氫由于具備作為催化劑或反應(yīng)物的能力而被半導(dǎo)體行業(yè)作為未來小于7nm制程中處理大溝槽結(jié)構(gòu)的候選刻蝕氣體之一。高純電子級溴化氫特種氣體具有獨(dú)特的刻蝕和沉積特性，短期里很難被其他特氣替代，已經(jīng)成為目前集成電路先進(jìn)制程材料受制于人的“瓶頸”。
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浩瀚色譜（山東）應(yīng)用技術(shù)開發(fā)有限公司，研制生產(chǎn)溴化氫中微量氣體雜質(zhì)的氣相色譜分析方法,采用配備反吹氣路的系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了高純溴化氫中微量H_(2)、O_(2)、N_(2)、CO、CH_(4)及CO_(2)的分離檢測。
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Haohan?790 GC System 氣相色譜儀
現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室始終面臨各種各樣的實(shí)際問題，需要采用切實(shí)可行的方法予以解決。處理復(fù)雜樣品基質(zhì)、保持?jǐn)?shù)據(jù)完整性以及滿足用戶培訓(xùn)需求等問題可能導(dǎo)致大量的時(shí)間和資源浪費(fèi)。
Haohan?790 GC System 氣相色譜儀，?是浩瀚為這些問題提供的一款高效，快速氣相色譜儀，在環(huán)境，生物，食品，醫(yī)藥，石化，衛(wèi)生，院校等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用.
Haohan?790 GC System 氣相色譜儀詳情：
1.?工作條件
1.1.?溫度： 5°C -- 35°C
1.2.?濕度：5 – 85%
1.3.?電源：AC 220±10%；50±0.5Hz
2.?柱溫箱
2.1.?溫度：室溫5°C -- 400°C
2.2.?程序升溫：7階程升，可擴(kuò)充16階
2.3.?在5min內(nèi)，從400°C降溫到50°C
2.4.?溫度精度：室溫每波動(dòng)1°C ，柱溫箱的溫度波動(dòng)＜0.1°C
2.5.?雙通道柱流失補(bǔ)償
3.?加熱區(qū)域
3.1.?除柱溫箱外，有5個(gè)獨(dú)立的加熱區(qū)域（3個(gè)進(jìn)樣口，2個(gè)檢測器，2個(gè)輔助區(qū)）/可擴(kuò)充
3.2.?輔助區(qū)的zui大溫度：400°C
4.?隔膜吹掃填充柱進(jìn)樣口
4.1.?手動(dòng)控制壓力/流量（可選配電子控制）
4.2.?zui高溫度400°C
4.3.?壓力設(shè)定范圍：0－100psi
4.4.?氣體流量設(shè)定范圍：0－100mL/min
4.5.?可用于1/4”、1/8”填充柱和0.53mm毛細(xì)柱
5.?分流/不分流進(jìn)樣口
5.1.?可以用于50um到530um的色譜柱
5.2.?分流比zui大可到3000:1
5.3.?省氣模式可以節(jié)約氣體用量（選配）
5.4.?EPC功能（選配）。
5.5.?電子控壓精度：0.001 psi（千分之一psi）（選配）
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